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产品中心/ products
产品特点
颗粒兼容性好1:是一款颗粒产品,专为需要 100nm 或更小的精细颗粒控制的静电消除应用开发,例如优良的半导体制造工艺,单晶硅电极避免了电极材料造成的金属污染风险。
静电消除性能高1:采用调制脉冲(MP)技术,能将高频正弦波与调制脉冲相结合,实现高离子输出和输送,可有效将离子传输到目标。即使在 100mm 的距离上,也有很小的潜在摆动特性,且离子平衡在棒的长度上几乎没有偏差。
智能控制2:内置智能控制电路,可始终自动管理离子发生状态和离子平衡,能有效保持长期离子平衡在控制标准之内,简化了设置过程。
维护方便2:可通过 1/4 圈拆卸的更换电极,有助于减少维护人力。
设计紧凑2:内置 24V DC 驱动控制器,采用紧凑型设计,便于安装和使用。
安全可靠:工作时电位摆幅非常小,可安全靠近晶圆或光罩,放置距离可近至 15cm1。同时,臭氧量极低,24 小时累计值小于 0.05ppm2。
技术参数2
输入电压:24V DC +/-10%。
输出电压:约 13.5kv pp 可调。
安装距离:100mm - 1000mm(不吹气)。
离子产生方法:电晕放电法,MP(脉冲调制)法,调制频率 1 - 33Hz。
离子平衡:自动平衡调整方法。
电极:单晶硅电极,可更换。
吹扫气体:清洁干燥的空气或氮气。
吹扫压力:310Kpa。
信号输出:警报 IO 集电极开路输出。
尺寸:高度 78 毫米 × 深度 34 毫米 × 长度低于(具体长度未明确给出)。
外观:ABS 树脂。
应用领域:主要应用于对静电消除要求较高的行业,如半导体制造、电子、制药、食品、包装、印刷等行业4。在半导体制造中,可用于晶圆处理、芯片制造等环节,能快速、有效地中和物体表面的静电荷,避免静电对电子元件造成损害,确保产品质量和生产效率
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