TEL东京电子Episode UL系列等离子蚀刻机的组成与工作原理

更新时间：2026-06-11

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TEL东京电子Episode UL系列等离子蚀刻机是进行干法刻蚀常见的核心精密设备，Episode UL系列等离子蚀刻机利用气体放电产生的等离子体，对材料表面进行原子级或纳米级的精准刻蚀。

TEL东京电子Episode UL系列等离子蚀刻机主要由以下四大核心部分及辅助系统组成。

预真空室：确保刻蚀腔内维持设定的真空度，隔离外界粉尘、水汽及危险气体，通常包含盖板、机械手和传动机构等。

刻蚀腔体：设备的核心结构，直接影响刻蚀速率、垂直度和粗糙度。内部包含上电极、ICP射频单元、RF射频单元、下电极系统及温控系统等。

供气系统：通过压力控制器和质量流量控制器精准控制各类刻蚀气体和保护气体的流速与流量。

真空系统：分为预真空室和刻蚀腔体两套系统，由机械泵和分子泵共同提供并维持所需的真空环境，同时负责排空反应生成的气体。

其他辅助系统：包括射频电源系统、终点检测系统（如光学发射谱OES、激光干涉法）以及自动控制系统。

TEL东京电子Episode UL系列等离子蚀刻机的工作原理

等离子体生成：在真空低气压的反应腔体内，通入特定比例的刻蚀气体（如氟基、氯基、氧基等）。射频电源（RF）产生的高频电场使气体发生辉光放电，电离形成包含电子、离子和中性自由基的高密度等离子体。

物理轰击与化学反应：高能离子在电场加速下垂直轰击晶圆表面，打断材料的化学键并促进反应产物脱附；同时，等离子体中的活性自由基与目标材料发生化学反应，生成挥发性物质。

废气排出：生成的挥发性副产物由真空系统抽离反应腔，从而完成一次精准的材料去除过程。